微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究

›› 2002, Vol. 38 ›› Issue (1): 87-90.

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微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究

张飞虎;谢大纲;赵清亮;韩荣久;裴舒

哈尔滨工业大学机械工程及自动化系统;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发布日期:2002-01-15

STUDY ON THE SURFACE MICRO TOPOGRAPHY OF CRYOGENIC POLISHED CERAMIC GLASS

Zhang Feihu;Xie Dagang;Zhao Qingliang;Han Rongjiu;Pei Shu

Harbin Institute of Technology Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics and Physics, Academy Sciences

Published:2002-01-15

摘要/Abstract

摘要： 揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定，重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷。

关键词: 表面粗糙度, 表面形貌, 玻璃相, 结晶相, 抛光, 微晶玻璃

Abstract: The internal micro structure of ceramic glass, the crystalline phase and glass phase of its composition and the measurement for the crystalline size are revealed. Besides that, the surface topography and the micro surface flaw of the ultra-precision cryogenic polished ceramic glass are especially analyzed.

Key words: Ceramic glass, Crystalline phase, Glass phase, Polishing, Surface roughness, Surface topography

中图分类号:

TG580.692

张飞虎;谢大纲;赵清亮;韩荣久;裴舒. 微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究[J]. , 2002, 38(1): 87-90.

Zhang Feihu;Xie Dagang;Zhao Qingliang;Han Rongjiu;Pei Shu. STUDY ON THE SURFACE MICRO TOPOGRAPHY OF CRYOGENIC POLISHED CERAMIC GLASS[J]. , 2002, 38(1): 87-90.

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