微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究

›› 2002, Vol. 38 ›› Issue (1): 87-90.

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微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究

张飞虎;谢大纲;赵清亮;韩荣久;裴舒

哈尔滨工业大学机械工程及自动化系统;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发布日期:2002-01-15

STUDY ON THE SURFACE MICRO TOPOGRAPHY OF CRYOGENIC POLISHED CERAMIC GLASS

Zhang Feihu;Xie Dagang;Zhao Qingliang;Han Rongjiu;Pei Shu

Harbin Institute of Technology Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics and Physics, Academy Sciences

Published:2002-01-15

摘要/Abstract

摘要： 揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定，重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷。

关键词: 表面粗糙度, 表面形貌, 玻璃相, 结晶相, 抛光, 微晶玻璃

Abstract: The internal micro structure of ceramic glass, the crystalline phase and glass phase of its composition and the measurement for the crystalline size are revealed. Besides that, the surface topography and the micro surface flaw of the ultra-precision cryogenic polished ceramic glass are especially analyzed.

Key words: Ceramic glass, Crystalline phase, Glass phase, Polishing, Surface roughness, Surface topography

中图分类号:

TG580.692

张飞虎;谢大纲;赵清亮;韩荣久;裴舒. 微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究[J]. , 2002, 38(1): 87-90.

Zhang Feihu;Xie Dagang;Zhao Qingliang;Han Rongjiu;Pei Shu. STUDY ON THE SURFACE MICRO TOPOGRAPHY OF CRYOGENIC POLISHED CERAMIC GLASS[J]. , 2002, 38(1): 87-90.

[1]	刘鑫, 张俊, 徐斌斌, 刘弘光, 赵万华. 激光辅助铣削过程的预热温度场调控方法研究[J]. 机械工程学报, 2024, 60(9): 218-228.
[2]	董晓星, 诸铁宇, 鲁聪达, 金明生. 基于球柱状电流变工具的工件表面形貌演化机理研究[J]. 机械工程学报, 2024, 60(9): 364-373.
[3]	朱少禹, 张向军, 孙军, 王大刚. 粗糙表面轴承微极流体润滑的平均流量模型[J]. 机械工程学报, 2024, 60(7): 203-211.
[4]	华东鹏, 周青, 王婉, 李硕, 王志军, 王海丰. 碳化硅纳米抛光亚表面损伤机理的分子动力学模拟[J]. 机械工程学报, 2024, 60(5): 231-240.
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[7]	党嘉强, 安庆龙, 李宇罡, 明伟伟, 王浩伟, 陈明. 300M钢超声滚压表面形貌演变机理和试验表征[J]. 机械工程学报, 2024, 60(15): 358-367.
[8]	郭江, 张鹏飞, 杨哲, 赵勇, 李琳光, 景召, 张蒙, 庞桂兵. 匀光阵列微结构模具高性能非接触仿形抛光[J]. 机械工程学报, 2024, 60(1): 127-136.
[9]	张园, 徐念伟, 鲍岩, 董志刚, 韩松, 郭东明, 康仁科. 轴向超声辅助端面磨削金属表面形貌及粗糙度预测[J]. 机械工程学报, 2023, 59(5): 307-316.
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[12]	魏德金, 韩陆依, 吕正风, 谢撰业, 韩兆玉, 王广春, 赵国群. 多向锻造对Al-Zn-Mg-Cu合金缺陷消除及微观组织的影响[J]. 机械工程学报, 2023, 59(24): 131-139.
[13]	陈磊, 刘阳钦, 唐川, 蒋翼隆, 石鹏飞, 钱林茂. 面向超精密加工的微观材料去除机理研究进展[J]. 机械工程学报, 2023, 59(23): 229-264.
[14]	郭江, 杨哲, 张鹏飞, 李琳光, 俞学雯, 潘博. FeCrAl合金化学机械抛光粗糙度预测模型研究[J]. 机械工程学报, 2023, 59(23): 310-319.
[15]	毛献昌, 易幼平, 黄始全, 何海林. 多向锻造变形温度对2219铝合金微观组织和力学性能的影响[J]. 机械工程学报, 2023, 59(22): 275-286.

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