调Q脉冲CO2激光切割Si3N4工程陶瓷的机理研究

›› 2002, Vol. 38 ›› Issue (6): 61-65.

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调Q脉冲CO2激光切割Si3N4工程陶瓷的机理研究

洪蕾;李力钧;鞠春雷

清华大学材料科学与工程博士后流动站;湖南大学

发布日期:2002-06-15

INVESTIGATION OF CUTTING OF Si3N4 ENGINEERING CERAMICS WITH Q-SWITCHED PULSE CO2 LASER

Hong Lei;Li Lijun;Ju Chunlei

Tsinghua University Hunan University

Published:2002-06-15

摘要/Abstract

摘要： 采用调Q脉冲CO2激光器对Si3N4工程陶瓷进行了切割试验。在计及切口烧蚀前沿形状和高斯光束空间能量分布的前提下，采用简化的二维模型，针对气化切割过程，在能量平衡基础上，建立了一个脉冲激光切割数学模型。试验结果表明，采用高速多次重复走刀工艺可实现无损伤激光切割。

关键词: Si3N4, 调Q脉冲CO2激光, 切割, 数学模型

Abstract: Cutting of Si3N4 engineering ceramics with Q-switched pulse CO2 laser. Considering the effective shape of the cut front that has influence to the absorption of the laser beam，a mathematics model considering a simplified 2D geometry based on the geometry of a pulsed laser cut during vaporization cutting process is developed. This model is based on the energy balance. The experiment results show that it would realize crack-free cutting by using high speed and multi-pass cutting.

Key words: Cutting, Mathematics model, Q-switched pulse CO2 laser, Si3N4

中图分类号:

TG442

洪蕾;李力钧;鞠春雷. 调Q脉冲CO2激光切割Si3N4工程陶瓷的机理研究[J]. , 2002, 38(6): 61-65.

Hong Lei;Li Lijun;Ju Chunlei. INVESTIGATION OF CUTTING OF Si3N4 ENGINEERING CERAMICS WITH Q-SWITCHED PULSE CO2 LASER[J]. , 2002, 38(6): 61-65.

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