自律校正法原理与2维位移传感器校正

摘要/Abstract

摘要： 叙述了一种崭新的自律校正方法的原理。它不用其他高精度基准，仅利用两个同样的测量器互为基准，多次相互校正，最终得到各自精度达自身能力极限的校正结果。根据2维位移传感器自身特点，两维可以看成两个独立的位移传感器，并依此互为基准进行自律校正，可以达到校正的目的。介绍了试验装置及其2维的位置测量器件自律校正的结果。

关键词: 2维传感器, 基准, 位置测量器件, 自律校正法

Abstract: A novel principle of self-calibration method is presented, which can be used in the calibration of two -dimentional PSD (Position sensing detector). Adopting this method without any special standard, the linearity errors of a pair of 2-D sensors can be calibrated themselves within their performance limitations. The experimental devices and the results of self-calibration of 2-D PSD are also introduced.

Key words: 2-D Sensor, Criterion, PSD (Position Sensing Detector), Self-calibration method

中图分类号:

TH822

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自律校正法原理与2维位移传感器校正

PRINCIPLE OF SELF-CALIBRATION METHOD AND CALIBRATION OF 2-D DISPLACEMENT SENSOR

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