机械工程学报 ›› 2015, Vol. 51 ›› Issue (4): 8-14.doi: 10.3901/JME.2015.04.008
付 敏1 彭东林1, 2 鲁 进2 陈锡侯2 郑方燕2 谢 莉3
FU Min1 PENG Donglin1, 2 LU Jin2 CHEN Xihou2 ZHENG Fangyan2 XIE Li3
摘要: 延续前期关于磁场式和电场式时栅位移传感器的研究基础,根据时栅传感器的设计思想,提出并分析光场式时栅传感器的测量原理及实现方案。探索性地提出在静态光场下,用时序驱动的光电探测器构成匀速扫描测量方式,实现将被测对象的空间位移测量转换为时间差的测量。为了验证方案的可行性,用多个线阵电荷耦合元件(Charge-coupled device,CCD)构成圆阵列,实现CCD时栅原理样机设计。将相邻CCD输出信号的时间差变化量与匀速扫描的速度值相乘,经过适当的转换便可得到转轴的角位移大小,并可以判断位移的方向。所研制的原理样机,通过与精度为 的圆光栅(ROD880)对比测量,在整周范围内,测量误差控制在 以内。为光场式时栅的进一步研究,提供了可靠的理论和实践依据。
中图分类号: