微型机械的现状与发展

›› 1994, Vol. 30 ›› Issue (2): 1-8.

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微型机械的现状与发展

干东英;王立鼎

中国科学院长春光学精密机械研究所

发布日期:1994-03-01

DEVELOPMENT AND PROSPECTS OF MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Gan Dongying;Wang Lidin

Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics，Academy of Scienes PRC

Published:1994-03-01

摘要/Abstract

摘要： 介绍了国际上微型机械研究工作发展特点与趋势以及我国微型机械研究工作现状，提出了近期发展战略的建议。

关键词: 建议, 微型机器人, 微型机械

Abstract: This text summarized in general the features and the trend of the development of modern micro electro-mechanical system research. Brifly analysed the present situation of MEMS in our country and recommended a developing strategy proposition in near period.

Key words: MEMS, Microrobot, Proposition

干东英;王立鼎. 微型机械的现状与发展[J]. , 1994, 30(2): 1-8.

Gan Dongying;Wang Lidin. DEVELOPMENT AND PROSPECTS OF MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM[J]. , 1994, 30(2): 1-8.

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DEVELOPMENT AND PROSPECTS OF MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

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