摘要: 讨论了显微镜-计算机测量系统,提出了用加权最小二乘回归法测量微小尺寸的方法。实测结果表明,这种方法具有良好的稳定性和较高测量精度。研究表明,由于摄象扫描速度等因素的影响,实际测量时应考虑水平方向和垂直方向之间存在的显著差异。
颜云辉;鹫见新一. 微小尺寸的计算机辅助测量方法[J]. , 1995, 31(5): 29-33.
Yan Yunhui;Shinichi Sumi. COMPUTER AIDED MEASURING METHOD OF MICROSIZE[J]. , 1995, 31(5): 29-33.