基于原子力显微镜的纳米加工研究

摘要/Abstract

摘要： 以原子力显微镜（AFM）作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石针尖的纳米加工试验，运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征进行了系统的研究和分析，提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的新方法。在此基础上，应用有限元法对AFM纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间的接触作用机制进行了计算仿真。

关键词: 金刚石针尖, 微/纳米加工, 有限元法, 原子力显微镜

Abstract: Through the systemic study on AFM nano-machining of single crystal silicon with a diamond tip, the surface deformation and material removal mechanisms on nanometer scale and at ultralow loads are analyzed. Beyond that, the contact mechanism existed between the AFM diamond tip and the material surface is simulated by finite element method. The experimental results prove the FEM’s validity applied in the contact analysis.

Key words: Atomic force microscope, Diamond tip, FEM, Micro/nano-machining

中图分类号:

TH38

赵清亮;董申;张秀利. 基于原子力显微镜的纳米加工研究[J]. , 2000, 36(11): 64-69.

Zhao Qingliang;Dong Shen;Zhang Xiuli. RESEARCH ON MICRO/NANO – MACHINING USING AN ATOMIC FORCE MICROSCOPE COMBINED WITH DIAMOND TIP[J]. , 2000, 36(11): 64-69.

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基于原子力显微镜的纳米加工研究

RESEARCH ON MICRO/NANO – MACHINING USING AN ATOMIC FORCE MICROSCOPE COMBINED WITH DIAMOND TIP

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