硅微热致动泵的关键加工工艺

›› 1999, Vol. 35 ›› Issue (1): 39-42.

硅微热致动泵的关键加工工艺

崔天宏;周兆英;王晓浩;叶雄英;杨岳;张文栋;吕苗;赵彦军

清华大学精密仪器与机械学系;电子部第十三研究所

发布日期:1999-01-01

KEY TECHNOLOGIES OF THERMALLY ACTUATED SILICON MICROPUMP

Cui Tianhong;Zhou Zhaoying;Wang Xiaohao;Ye Xiongying;Yang Yue Zhang;Wen dong;Lu Miao;Zhao Yanjun

Qinghua University Institute No.13, Ministry of Electronic Industry

Published:1999-01-01

摘要/Abstract

摘要： 提出了一种新型结构的硅微热致动泵，对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。

关键词: 硅微加工工艺, 微型泵, 微型机械

Abstract: A thermo-driven sillicon micropump with novel structure is presented. The fabrication processes of this micropump are analyzed in summarize and measured in individual experiments.

Key words: MEMS, Micropump, Silicon micromachining

中图分类号:

TH38

崔天宏;周兆英;王晓浩;叶雄英;杨岳;张文栋;吕苗;赵彦军. 硅微热致动泵的关键加工工艺[J]. , 1999, 35(1): 39-42.

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