• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
微加速度计摆片质量的测量方法研究
李疆;高钟毓;董景新
STUDY ON ESTIMATION OF THE PROOF MASS OF A MEMS ACCELEROMETER
Li Jiang;Gao Zhongyu;Dong Jingxin
. 2004, (3): 115 -118 . 

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