• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
纳米压印复合软模具建模研究
李延强, 兰红波, 许权, 梁森, 刘红忠
Modeling of Flexible Composite Mold for Nanoimprint Lithography
LI Yanqiang, LAN Hongbo, XU Quan, LIANG Sen, LIU Hongzhong
机械工程学报 . 2018, (19): 170 -181 .  DOI: 10.3901/JME.2018.19.170

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