• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
化学机械抛光设备负载特性与主体结构变形
赵德文;路新春;何永勇;王同庆
Load Characteristic of CMP Equipment and Deformation of Its Main Structure
ZHAO Dewen;LU Xinchun;HE Yongyong;WANG Tongqing
. 2014, (15): 160 -165 . 

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