• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
湿法腐蚀硅制作PDMS微流控芯片
张峰;张宏毅;周勇亮;杨渭;陈彬彬
FABRICATION OF PDMS MICROFLUIDIC CHIP BY WET ETCHING SILICON
Zhang Feng;Zhang Hongyi;Zhou Yongliang;Yang Wei;Chen Binbin
. 2005, (11): 194 -198 . 

版权所有 © 2019 《机械工程学报》编辑部 | 京ICP备05055788号-30