• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
基于玻璃湿法刻蚀的微流控器件加工工艺研究
谢海波;傅新;刘玲;杨华勇;徐东
RESEARCH ON GLASS WET ETCHING FOR MICRO FLUIDIC DEVICES
Xie Haibo;Fu Xin;Liu Ling;Yang Huayong;Xu Dong
. 2003, (11): 123 -129 . 

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