• CN:11-2187/TH
  • ISSN:0577-6686
光刻机超精密运动台数据驱动MIMO定结构前馈控制
李敏, 陈涛涛, 鲁森, 杨开明, 朱煜, 胡楚雄
Data-driven MIMO Fixed-structure Feedforward Control for Ultra-precision Motion Stages of Lithographic Scanners
LI Min, CHEN Taotao, LU Sen, YANG Kaiming, ZHU Yu, HU Chuxiong
机械工程学报 . 2023, (21): 99 -109 .  DOI: 10.3901/JME.2023.21.099