光刻机超精密运动台数据驱动MIMO定结构前馈控制
李敏, 陈涛涛, 鲁森, 杨开明, 朱煜, 胡楚雄
Data-driven MIMO Fixed-structure Feedforward Control for Ultra-precision Motion Stages of Lithographic Scanners
LI Min, CHEN Taotao, LU Sen, YANG Kaiming, ZHU Yu, HU Chuxiong
机械工程学报
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2023, (21): 99
-109
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DOI: 10.3901/JME.2023.21.099