• CN:11-2187/TH
  • ISSN:0577-6686
基于毛细力的芯片微操作方法研究
王彬开, 常博, 张衡
Capillary Force Based Micromanipulation of Chips
WANG Binkai, CHANG Bo, ZHANG Heng
机械工程学报 . 2023, (6): 285 -294,308 .  DOI: 10.3901/JME.2023.06.285