大口径衍射光栅的污染损伤与清洗技术研究进展
李玉海, 白清顺, 孙浩, 张鹏, 卢礼华, 杜云龙, 苗心向, 袁晓东, 刘昊, 韩伟
Research Progress on Contamination Damage and Cleaning Technology of Large-aperture Diffraction Grating
LI Yuhai, BAI Qingshun, SUN Hao, ZHANG Peng, LU Lihua, DU Yunlong, MIAO Xinxiang, YUAN Xiaodong, LIU Hao, HAN Wei
机械工程学报
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2022, (9): 270
-282
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DOI: 10.3901/JME.2022.09.270
