• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
超精密微动台控制器带宽优化研究
杨进;尹文生;朱煜;胡金春;段广洪
Controller Bandwidth Optimization for Ultra-precision Position Stage
YANG Jin;YIN Wensheng;ZHU Yu;HU Jinchun;DUAN Guanghong
. 2011, (16): 9 -13 . 

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