振动轮式微机械传感器非线性力学特性的研究

摘要/Abstract

摘要： 用能量法计算了振动轮式微机械角速率传感器中梁的力矩－转角的非线性关系，分析了在这种非线性影响下的传感器幅频、相频特性。试验结果表明在这种微传感器中确实存在非线性振动现象。用推导出的公式得到的计算数据与试验数据吻合得较好。最后提出了减小微结构非线性特性的措施。

关键词: 非线性振动, 微传感器, 微机械, 曳引机电梯蓄能器节能混合驱动

Abstract: The nonlinearity of moment-angle relationship of the beams in a kind of micromachine vibratory angular rate sensor is derived by using energy method. Under the considering of this nonlinearity, the frequency characteristie of the sensor is analyzed. Test results show that nonlinear vibration phenomenon does exist in micromachine vibration beams, and the calculated curves of the formulas derived accords with the measured data. Finally, the ways to reduce the nonlincarity are introduced.

Key words: Micromachine, Microsensor, Nonlinear vibration, Traction motor Elevator Accumulator Energy saving Hybrid drive

中图分类号:

O322

陈志勇;高钟毓;周斌. 振动轮式微机械传感器非线性力学特性的研究[J]. , 2001, 37(4): 78-81.

Chen Zhiyong;Gao Zhongyu;Zhou Bin. NONLINEAR MECHANICAL CHARACTERISTICS IN MICROMACHINE VIBRATORY SENSOR[J]. , 2001, 37(4): 78-81.

[1]	和东平, 王涛, 刘元铭, 徐慧东, 王君, 王志华. 板带轧机振动理论研究进展[J]. 机械工程学报, 2024, 60(7): 93-113.
[2]	和东平, 蒋莉, 徐慧东, 刘元铭, 王涛. 轧机工作辊水平非线性振动及智能衬板吸振[J]. 机械工程学报, 2024, 60(20): 108-119.
[3]	黄涛, 王家畴, 李昕欣. (111)硅片的高性能热堆式气体流量传感器及其封装技术研究[J]. 机械工程学报, 2023, 59(2): 30-38.
[4]	郭晓强, 柳军, 王建勋, 李潇, 魏安超, 朱海燕. 超高温高压曲井钻柱纵-横-扭耦合振动模型及黏滑振动特性研究[J]. 机械工程学报, 2022, 58(5): 119-135.
[5]	黄琳雅, 赵立波, 罗国希, 李支康, 吴德志, 林启敬, 杨萍, 蒋庄德. 基于微机械电子技术的黏度测量传感器[J]. 机械工程学报, 2021, 57(8): 13-22.
[6]	李志农, 刘杰, 卢文秀, 褚福磊. 转子系统盘轴松动故障动力学建模和仿真研究[J]. 机械工程学报, 2020, 56(7): 60-71.
[7]	严博, 马洪业, 韩瑞祥, 王珂, 武传宇. 可用于大幅值激励的永磁式非线性隔振器[J]. 机械工程学报, 2019, 55(11): 169-175.
[8]	高胜, 李美杰, 杨明岩, 张飘石, 任福深. 2F2R宏微机械臂动力学建模与弹性振动尺度效应分析[J]. 机械工程学报, 2017, 53(21): 65-78.
[9]	罗天洪, 马翔宇, 陈才, 刘淼, 张剑. 基于操纵子学模型的5自由度宏-微精密机械手运动的映射关系^*[J]. 机械工程学报, 2016, 52(13): 47-53.
[10]	李刚汪中厚耿直朱文敏. 基于非特征分块插值技术的准双曲面齿轮数字化真实齿面建模方法[J]. 机械工程学报, 2015, 51(7): 77-84.
[11]	姜万录, 朱勇, 郑直, 张生. 电液伺服系统非线性振动机理及试验研究[J]. 机械工程学报, 2015, 51(4): 175-184.
[12]	张涛, 王建军, 吴勇军. 基于接触有限元的齿轮-转子系统动态特性分析[J]. 机械工程学报, 2015, 51(19): 40-46.
[13]	任朝晖谢吉祥周世华闻邦椿. 斜齿轮-转子-轴承弯扭轴耦合振动特性分析[J]. 机械工程学报, 2015, 51(15): 75-89.
[14]	刘灿昌刘露. 智能结构超谐波振动的最优化控制[J]. , 2014, 50(1): 98-103.
[15]	苑伟政;任森;邓进军;乔大勇. 硅微机械谐振压力传感器技术发展[J]. , 2013, 49(20): 2-9.

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NONLINEAR MECHANICAL CHARACTERISTICS IN MICROMACHINE VIBRATORY SENSOR

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