• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
基于原子力显微镜的线宽粗糙度测量
李洪波;赵学增
Measurement of Line Width Roughness by Using Atomic Force Microscope
LI Hongbo;ZHAO Xuezeng
. 2008, (8): 227 -232 . 

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