• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
电子束在MEMS加工中邻近效应的分析与补偿
尹明;张玉林;程建辉
ANALYSIS AND COMPENSATION OF PROXIMITY EFFECT IN MEMS WITH E-BEAM LITHOGRAPHY
Yin Ming;Zhang Yulin;Cheng Jianhui
. 2004, (9): 67 -70 . 

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