• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
蓝宝石衬底研磨加工中研磨盘材质的影响
文东辉;鲁聪达;周兆忠
Effect of Plate Materials on Sapphire Wafer Lapping Process
WEN Donghui;LU Congda;ZHOU Zhaozhong
. 2009, (2): 247 -250 . 

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