• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
残余应力对z轴硅微机械振动陀螺仪性能的影响
裘安萍;苏岩;王寿荣;周百令
EFFECT OF STRESSES ON MICROMACHINED z-AXIS VIBRATING RATE GYROSCOPE
Qiu Anping;Su Yan;Wang Shourong;Zhou Bailing
. 2005, (6): 228 -232 . 

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