• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
考虑抛光垫特性的CMP流动性能
张朝辉;雒建斌;温诗铸
FLOW FEATURES IN CMP WITH PAD PROPERTY CONSIDERED
ZHANG Chaohui;LUO Jianbin;WEN Shizhu
. 2006, (4): 13 -17 . 

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