• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
硅微构件的弹性模量和残余内应力的测试
叶雄英;杨岳;周兆英;李勇
MEASUREMENT OF YOUNG'S MODULUS AND RESIDUAL STRESS OF SILICON MICROSTRUCTURES
Ye Xiongying;Yang Yue;Zhou Zhaoying;Li Yong
. 1997, (3): 108 -112 . 

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