• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
硅片传输机器人手臂结构优化设计方法
刘延杰,吴明月,王刚,蔡鹤皋
Method for Structural Optimization Design of Wafer Handling Robot Arms
LIU Yanjie, WU Mingyue, WANG Gang, CAI Hegao
机械工程学报 . 2015, (1): 1 -9 .  DOI: 10.3901/JME.2015.01.001

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