• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
下一代光刻技术——压印光刻
丁玉成;刘红忠;卢秉恒;李涤尘
NEXT GENERATION LITHOGRAPHY——IMPRINT LITHOGRAPHY
DING Yucheng;LIU Hongzhong;LU Bingheng;LI Dichen
. 2007, (3): 1 -7 . 

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