• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
超大规模集成电路制造中硅片平坦化技术的未来发展
郭东明;康仁科;苏建修;金洙吉
FUTURE DEVELOPMENT ON WAFER PLANARIZATION TECHNOLOGY IN ULSI FABRICATION
Guo Dongming;Kang Renke;Su Jianxiu;Jin Zhuji
. 2003, (10): 100 -105 . 

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