• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
面向微机电系统组装与封装的微操作装备关键技术
孙立宁;陈立国;荣伟彬;谢晖;刘延杰
Key Techniques of Micromanipulation Devices for MEMS Assembling and Packaging
SUN Lining;CHEN Liguo;RONG Weibin;XIE Hui;LIU Yanjie
. 2008, (11): 13 -19 . 

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