太赫兹段慢波结构的微细加工技术研究新进展
吴春亚, 郭闯强, 裴旭东, 王廷章, 陈妮, 陈明君
New Progress of Microfabrication Techniques for Slow Wave Structures at THz Frequencies
WU Chunya, GUO Chuangqiang, PEI Xudong, WANG Tingzhang, CHEN Ni, CHEN Mingjun
机械工程学报
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2019, (7): 187
-198
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DOI: 10.3901/JME.2019.07.187
