• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
高速高精度叠层直线运动控制系统
宋亦旭;王健发;杨开明;尹文生;朱煜;贾培发
CONTROL SYSTEM FOR HIGH-SPEED AND ULTRA-PRECISION LINEAR MOTION BY DUAL STAGE
SONG Yixu;WANG Jianfa;YANG Kaiming;YIN Wensheng;ZHU Yu;JIA Peifa
. 2006, (4): 196 -200 . 

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