基于计量学的线边缘粗糙度定义

基于计量学的线边缘粗糙度定义

赵学增;李洪波;褚巍;肖增文;李宁

DEFINITION OF LINE EDGE ROUGH-NESS BASED ON METROLOGY

ZHAO Xuezeng;LI Hongbo;CHU Wei;XIAO Zengwen;LI Ning

. 2007, (1): 214 -218 .

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