• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
计算机硬盘基片的亚纳米级抛光技术研究
雷红;雒建斌;屠锡富;方亮
SUB-NANOMETER PRECISION POLISHING OF COMPUTER RIGID DISK SUBSTRATE
Lei Hong;Luo Jianbin;Tu Xifu;Fang Liang
. 2005, (3): 117 -122 . 

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