基于函数型数据分析的半导体生产过程监控
黎敏, 谢玄, 陈泽, 杨孟瑶, 杨德斌, 蒋靖
Monitoring of Semiconductor Manufacturing Process Based on Functional Data Analysis
LI Min, XIE Xuan, CHEN Ze, YANG Mengyao, YANG Debin, JIANG Jing
机械工程学报
.
2018, (16): 62
-69
.
DOI: 10.3901/JME.2018.16.062
|
|
|
