• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
静电梳状硅微单侧直脚谐振器的力学性能
沈雪瑾
Mechanical Performance of Micro One-sided Straight-leg Beam Resonator
SHEN Xuejin
. 2009, (5): 49 -56 . 

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