特种微机电系统压力传感器

特种微机电系统压力传感器

蒋庄德;田边;赵玉龙;赵立波

Special Micro-electro-mechanical Systems Pressure Sensor

JIANG Zhuangde;TIAN Bian;ZHAO Yulong;ZHAO Libo

. 2013, (6): 187 -197 .

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