• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
旋涡式非接触硅片夹持装置的流动计算及试验研究
阮晓东;郭丽媛;傅新;邹俊
Simulation and Experiment Research on Vortex Non-contact Wafer Holder
RUAN Xiaodong;GUO Liyuan;FU Xin;ZOU Jun
. 2010, (16): 189 -194 . 

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