• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究
李俊红;汪承灏;刘梦伟;马军;魏建辉
MEMS Piezoelectric Microphone with Circular Diaphragm
LI Junhong;WANG Chenghao;LIU Mengwei;MA Jun;WEI Jianhui
. 2012, (18): 85 -88 . 

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