• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势
兰红波;丁玉成;刘红忠;卢秉恒
Review of Template Fabrication for Nanoimprint Lithography
LAN Hongbo;DING Yucheng;LIU Hongzhong;LU Bingheng
. 2009, (6): 1 -13 . 

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