• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
微型机械设计基础研究
温诗铸;丁建宁
STUDY ON THE FUNDAMENTAL DESIGN ISSUES OF MICRO ELECTROMECHNICAL SYSTEMS (MEMS)
Wen Shizhu;Ding Jianning
. 2000, (7): 39 -42 . 

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