• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
光刻物镜光学零件制造关键技术概述
戴一帆;彭小强
Overview of Key Technologies for Optical Manufacturing of Lithographic Projection Lens
DAI Yifan;PENG Xiaoqiang
. 2013, (17): 10 -18 . 

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