• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
纳米级超精密定位工作台的研究
张金龙;刘阳;郭怡倩;刘京南;内田敬久
Research on Ultra-precision Nanopositioning Stage
ZHANG Jinlong;LIU Yang;GUO Yiqian;LIU Jingnan;UCHIDA Yoshihisa
. 2011, (9): 187 -192 . 

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