微加速度传感器研究进展

司方成, 丁洁, 马鸿梁, 何昶, 葛庚午, 高强, 张文栋, 范绪阁

Recent Advances of Micro-accelerometers

SI Fangcheng, DING Jie, MA Hongliang, HE Chang, GE Gengwu, GAO Qiang, ZHANG Wendong, FAN Xuge

机械工程学报 . 2026, (14): 1 -31 . DOI: 10.3901/JME.260034