• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
超精密气浮关键技术及发展趋势
温众普, 石照耀, 谭久彬, 吴剑威, 崔海龙
Key Technology and Developing Trend of Ultra-precision Aerostatic Bearing
WEN Zhongpu, SHI Zhaoyao, TAN Jiubin, WU Jianwei, CUI Hailong
机械工程学报 . 2025, (5): 1 -12 .  DOI: 10.3901/JME.2025.05.001

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