基于多节点阵列结构的高精度薄膜温度传感器研究
田边, 刘江江, 张仲恺, 刘兆钧, 马荣, 林启敬, 蒋庄德
Study on High Precision Thin Film Temperature Sensor Based on Multi-node Array Structure
TIAN Bian, LIU Jiangjiang, ZHANG Zhongkai, LIU Zhaojun, MA Rong, LIN Qijing, JIANG Zhuangde
机械工程学报
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2024, (4): 92
-100
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DOI: 10.3901/JME.2024.04.092