硅微谐振压力传感器自动增益控制与相位补偿研究
王淞立, 方续东, 高博楠, 赵立波, 田边, 林启敬, 张仲恺, 饶浩, 李瑜, 蒋庄德
Study on Automatic Gain Control and Phase Compensation Control for MEMS Resonant Pressure Sensors
WANG Songli, FANG Xudong, GAO Bonan, ZHAO Libo, TIAN Bian, LIN Qijing, ZHANG Zhongkai, RAO Hao, LI Yu, JIANG Zhuangde
机械工程学报
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2024, (4): 82
-91
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DOI: 10.3901/JME.2024.04.082
