FeCrAl合金化学机械抛光粗糙度预测模型研究
郭江, 杨哲, 张鹏飞, 李琳光, 俞学雯, 潘博
Prediction of Surface Roughness in Chemical Mechanical Polishing of FeCrAl
GUO Jiang, YANG Zhe, ZHANG Pengfei, LI Linguang, YU Xuewen, PAN Bo
机械工程学报
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2023, (23): 310
-319
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DOI: 10.3901/JME.2023.23.310
