• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
MEMS集成设计与制造技术进展
苑伟政, 常洪龙, 谢建兵
Advances in MEMS Integrated Design and Manufacturing Technology
YUAN Weizheng, CHANG Honglong, XIE Jianbing
机械工程学报 . 2023, (19): 176 -186 .  DOI: 10.3901/JME.2023.19.176

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