基于微机械电子技术的黏度测量传感器
黄琳雅, 赵立波, 罗国希, 李支康, 吴德志, 林启敬, 杨萍, 蒋庄德
Review on Viscosity Measurement Sensor Based on Micro-electromechanical Systems Technology
HUANG Linya, ZHAO Libo, LUO Guoxi, LI Zhikang, WU Dezhi, LIN Qijing, YANG Ping, JIANG Zhuangde
机械工程学报
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2021, (8): 13
-22
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DOI: 10.3901/JME.2021.08.013