• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
硅微机械谐振压力传感器技术发展
苑伟政;任森;邓进军;乔大勇
A Review of Silicon Micromachined Resonant Pressure Sensor
YUAN Weizheng;REN Sen;DENG Jinjun;QIAO Dayong
. 2013, (20): 2 -9 . 

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