滚型纳米压印模具变形机理的研究

滚型纳米压印模具变形机理的研究

兰红波徐方超刘红忠梁森丁玉成

Mold Deformation in Roller-type Nanoimprint Lithography

LAN Hongbo, XU Fangchao, LI Zenghui, LIANG Sen, DING Yucheng

机械工程学报 . 2015, (7): 155 -161 . DOI: 10.3901/JME.2015.07.155

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